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產(chǎn)品中心半導(dǎo)體材料測(cè)試橢偏拉曼AFM拉曼光譜分析
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拉曼光譜用來(lái)測(cè)試材料應(yīng)力，摻雜濃度和sheet& pattem等。從散射光的能量轉(zhuǎn)移，強(qiáng)度和偏振等方面可以獲取樣品豐富信息,如:結(jié)晶取向，組分，機(jī)械應(yīng)力，摻雜和溫度變化等。
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